Подавление захвата макрочастиц при пульсирующем смещении подложки в покрытиях нестехио-метрического кубического нитрида титана.
Keywords:
Микрофрактограмма TiN покрытия, микроструктура, «Булат», ННВ.Abstract
В процессе осаждение TiN-покрытий методами традиционного вакуумнодугового осаждения и осаждения в пульсирующей плазме исследовано подавление эмиссии макрочастиц титана с поверхности катода методом импульсного смещения отрицательным напряжением, прикладываемым к подложке.
References
Аксёнов Д.С., Аксёнов И.И., Стрельницкий В.Е. Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых исчтониках плазмы / Вопросы атомной науки и техники. Серия Физика радиационных повреждений и радиаци-онное материаловедение. 2007, № 6 (91),. – С. 106-115.
Gyoqiang Lin, Yanhui Zhao, Huimmei Guo, Dezhen Wang, Chuang Dong, Rongfang Huang and Lishi Wen. Experiments and theoretical explanation of droplet elimination phenomenon in pulsed-bias arc deposition // J. Vac. Sci. Technol.- 2004.- A22(4).- P. 1218-1222.
Olbrich W., Fessmann J., Kampschulte G., Ebberink J. Improved control of TiN coating properties using cathodic arc evaporation with a pulsed bias // Surface and Coatings Technology.-1991.-Vol. 49, Issue 1-3.-P.258-262.
Fessmann J., Olbrich W., Kampschulte G., Ebberink J. Cathodic arc deposi-tion of TiN and Zr(C, N) at low substrate temperature using a pulsed bias volt-age // Materials Science and Engineering: A.-1991.-Vol. 140.-P.830-837.
Anthony J. Perry, James R. Treglio, Albert F. Tian, Low-temperature deposi-tion of titanium nitride // Surface and Coatings Technology.-1995. Vol. 76-77.-P.815-820.
Robert R. Aharonov, Manish Chhowalla, Suranjeeta Dhar, Raymond P. Fontana Factors affecting growth defect formation in cathodic arc evaporated coatings // Surface and Coatings Technology.-1996. Vol. 82.-P.334-343.
Huang M., Lin G., Zhao Y., Sun C., Wen L., Dong C. Macro-particle reduc-tion mechanism in biased arc ion plating of TiN // Surface and Coatings Technology.-2003.-Vol.-176.-P.109-114.
Downloads
Published
Issue
Section
License
Редакція Видання категорично засуджує прояви плагіату в статтях та вживає всіх можливих заходів для його недопущення. Плагіат розглядається як форма порушення авторських прав і наукової етики.
При виявлені у статті більш ніж 25% запозиченого тексту без відповідних посилань та використання лапок, стаття кваліфікується як така, що містить плагіат. У цьому випадку стаття більше не розглядається редакцією, а автор отримує перше попередження.
Автори, в статтях яких повторно виявлено плагіат, не зможуть публікуватися в усіх журналах Видавництва ДВНЗ «Придніпровська державна академія будівництва та архітектури».
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
