Структурообразование сверхтвердых покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана.

Authors

  • V. M. Shulaev

Keywords:

Структурообразование сверхтвердых покрытий, вакуумно-дуговое осаждение.

Abstract

Из-за своей высокой твердости покрытия нитрида титана нашли широ-кое применение при изготовлении режущих инструментов и износостойких покрытий. Основной метод синтеза таких покрытий на сегодняшний день это вакуумно-дуговое осаждение [1].

References

Вакуумно-дуговые устройства и покрытия: Монография/ А.А. Андреев, Л.П. Саблев, В.М. Шулаев, С.Н. Григорьев.–Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. – 236 с.

А.И.Гусев. Нестехиометрия, беспорядок, ближний и дальний порядок в твердом теле. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2007. – 856 с.

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий. А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань*, В.А. Столбовой. Физическая инженерия по-верхности, 2006, т. 4, № 3 – 4, с.179-183.

Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азо-тирования методом ионной имплантации и осаждения. В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.П. Руденко. Физическая инженерия поверхности, 2006, т. 4, № 3 – 4, с.136-142.

J. Pelletier, A. Anders. Plasma-based ion implantation and deposition: A review of physics, technology and applications // IEEE Transactions on Plasma Science, 2005, v. 33, N 6, p. 1944-1959.

Исследование особенностей нанокристаллического строения сверхтвердых покрытий мононитрида титана. В.М. Шулаев, А.А. Андреев, И.М Неклюдов, А.Л. Васильев, О.В. Соболь// Вопросы атомной науки и техники, 2009, №6 (64), с. 254- 261.

В.Ф. Горбань, Н.А. Мамека, Э.П. Печковский, С.А. Фирстов. Идентифика-ция структурного состояния материалов методом автоматического индентиро-вания//Сб. докл. Харьковской нанотехнологической ассамблеи. Харьков, 2007, т. 1, с. 52-55.

Downloads

Published

2010-03-23

Issue

Section

Proceedings in memory of Starodubov